Estudo de caso
A terceirização da produção de água ultrapura
para a produção de wafer eletrônico oferece
uma solução prática aos fabricantes
Utilizando o formato BOO (Build, Own & Operate) de
contrato, a GE disponilizou uma instalação completa
de tratamento de água que utiliza água municipal
como água de alimentação. A estação de tratamento
de água é mantida pelos engenheiros locais da GE e
esta operação é combinada com um serviço backup
de GE Mobile Water 24h.
A base da solução é o Sistema GE DeltaFlow*, o qual
combina as tecnologias de Osmose Reversa (OR), Gas
Transfer Membranes (GTM) e Eletrodeionização (EDI).
Elaborando a solução
Figura 1: Instalação da produção de wafer eletrônico
Desafio
Uma grande instalação de produção de wafer
eletrônico na Escócia (Figura 1) necessitou de uma
fonte segura e permanente de Água Ultrapura (UPW –
Ultrapure Water). Uma revisão da utilização da água
na instalação foi promovida pelas mudanças na
produção e pelas principais necessidades de
atualização da estação.
A água utrapura é um fator essencial na produção de
wafer eletrônico. A qualidade da água necessária
neste processo é maior do que a água utilizada em
estações de energia nuclear. Somente neste nível de
qualidade a produção pode continuar. Uma
necessidade crítica também é a segurança do
sistema para garantir que a água ultrapura esteja
disponível 24h por dia, uma vez que qualquer falha na
produção significa custos altos.
Solução
Os responsáveis pela produção de wafer
selecionaram a GE Water & Process Technologies
para fornecer uma solução terceirizada, prática e de
longo prazo.
A estação de tratamento de água foi projetada para
eliminar a presença de qualquer contaminantes na
água do processo. Existem dois sistemas construídos
de modo a permitir que o segundo sistema opere em
loop, isolado do contato direto com qualquer água
não tratada. O primeiro sistema da composição
purifica a água e remove os principais contaminantes.
O segundo sistema, conhecido como UPW loop,
produz a água que é usada no processo de produção
de wafer.
Tabela 1: Especificações da instalação
Atual
Contrato
Vazão
24.000 gpm
(90 m3/h)
24.000 gpm
(90 m3/h)
Entrada TOC
1200 ppb
2000 ppb
Condutividade de
entrada
75 μS/cm
150 μS/cm
Resistividade de saída
18,18 Ωcm
>18 MΩcm
Saída SiO2
-3 ppb
<10 ppb
Saída TOC
-5 ppb
<100 ppb
O UPW loop tem uma vazão de 24.000 gpm (90 m3/h).
Isso garante um fluxo de água estável e constante na
fonte de alimentação permanentemente, evitando o
crescimento biológico na superfície da tubulação
entre os sistemas.
Encontre um contato perto de você, visitando www.gewater.com e clicando em “Contato”.
* Marca registrada da General Electric Company; pode estar registrada em um ou mais países.
©2014, General Electric Company. Todos os direitos reservados.
CS1124_PB.doc Mar-14
A água de alimentação é pré-tratada com carvão
ativado para retirar o cloro e é dosada com antiincrustante para prevenir incrustação de cálcio, ferro
e bário. A água é então processada pela unidade de
DeltaFlow e polida por leito misto para desmineralizar
(DI) e melhorar a qualidade da água antes de entrar
no tanque de armazenamento de UPW. Este tanque é
mantido sob uma atmosfera de nitrogênio para
prevenir a entrada de oxigênio.
fornecendo apoio ao serviço, garantindo uma solução
segura e confiável durante a vida do projeto.
Além disso, com a maior frota móvel de purificação de
água do mundo, a GE providencia soluções de longo
prazo e de emergência, combinando localização fixa e
móvel em todo o mundo.
A água DI é bombeada de maneira circular no UPW
loop, passando por unidades de UV de 185nm para
redução de TOC, leitos mistos para polimento da água
abaixo de 18 megOhm e, finalmente, através de filtros
cartucho absolutos de 0,2 e 0,1μm para controle de
partículas.
Benefícios
O sistema DeltaFlow foi projetado para operação
contínua e as membranas proporcionam uma
barreira física para o material coloidal e orgânico.
Incluído dentro de um contêiner padrão, a unidade
DeltaFlow economiza tempo e espaço durante a
instalação e tem facilidade de manutenção, se
necessário.
Representantes de Serviço de Campo (RSC) da GE,
graduados e especificamente treinados para estes
serviços, montam e comissionam o sistema de
tratamento de água na planta do cliente e continuam
Figura 2: Sistemas Móveis da GE
A GE vem providenciando serviços de emergência e
de longo prazo há mais de 30 anos. O compromisso
com os clientes é a base de nossos serviços em todo o
mundo.
Figura 3: A solução GE
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Case Study