Canhões de Elétrons
André Luiz Pinto, DC
Chefe do Laboratório de
Microscopia Eletrônica do IME
Jeol
Canhão de Elétrons
ZrO/W(100) Schottky
Type Electron Gun
Higher brightness, 100
times greater than LaB6
gun
Higher coherency
Higher energy resolution,
0.7 to 0.8eV
Higher stability over a
cold FEG
Longer life time 1.5 to 3
years (guarantied time:
5,000 hours)
Jeol
O que desejamos em um
canhão?
z
z
z
z
z
Alto brilho
Fonte de dimensões reduzidas
Estabilidade
Energia Controlável
Coerência
Brilho
z
Definimos o brilho como a densidade de
corrente (corrente, ie, por unidade de área)
emitido em um ângulo sólido αo.
Unidade: A/m2sr
β=
ie
2
⎛ do ⎞
2
π ⎜ ⎟ π (α o )
⎝ 2⎠
Jeol
Energia dos Elétrons
z
Através do Princípio da Dualidade OndaPartícula de de Broglie podemos associar o
momento da partícula ao seu comprimento
de onda
h
λ=
z
p
Energia cinética do elétron a partir do seu
potencial de aceleração
mo v 2
eV =
⇒ p = mo v = 2mo eV
2
Energia dos Elétrons
z
Comprimento de onda
h
λ=
2mo eV
z
Correção relativística
λ=
h
⎛
eV ⎞
⎟
2mo eV ⎜⎜1 +
2 ⎟
⎝ 2mo c ⎠
Fontes Termiônicas
z
Lei de Richardson para a densidade de
corrente
J = AT e
2
−
Φ
kT
A- Cte de Richardson
Φ - Função Trabalho
K – Cte de Boltzmann
Filamento de W
z
z
z
Baixo custo (~ US$ 90)
Baixa vida (~ 100 h)
Baixo brilho
Williams e Carter
Filamento de LaB6
z
z
z
z
z
z
z
z
Maior custo (~US$ 1-3k)
Maior vida (~500 h)
Maior brilho
Monocristal <100>
Suporte resistivo de grafite
ou rênio
Sujeito a choque térmico
Altamente reativo
Podem ter efeito Schottky
(ponta com r~1-10µm dobra
o brilho)
Goldstein et all
Williams e
Carter
Saturação
Jeol
Williams e Carter
Saturação
Jeol
Williams e Carter
Canhão de Elétrons - Wehnelt
Jeol
Williams e Carter
Controle do Bias
Jeol
Williams e Carter
Problemas das Fontes
Termiônicas
z
z
z
Evaporação do catodo
“Thermal drift”
Baixo brilho
z
Brilho máximo
β Max
J c eVo
=
πkT
Canhão de Emissão por Campo
(Field Emission Gun - FEG)
z
z
z
z
z
Monocristal <310> com ponta
afiada (r<100 ηm)
Menor raio concentra o campo
elétrico e diminui a necessidade
de T
V1 – voltagem de extração
(3-5 kV)
V2 – voltagem de aceleração
J c eVo
Brilho máximo β Max =
π∆E
Williams e Carter
Canhão de Emissão por Campo
(Field Emission Gun - FEG)
Goldstein et all
z
3 tipos básicos
z
z
z
z
Frio
Térmico
Schottky
Crossover
z
z
z
z
Frio - < 5 ηm
Térmico - < 5 ηm
Schottky - < 15-30 ηm
Variação da Energia (∆E)
z
z
z
z
Frio – 0,3 eV
Térmico – 1 eV
Schottky – 0,3 - 1 eV
Estabilidade
z
z
z
Frio – 5%/h
Térmico – 5%/h
Schottky – 2%/h
Goldstein et all
Williams
e Carter
Degradação da Fonte
Goldstein et all
Coerência
z
z
Coerência avalia quão “em fase” estão as
ondas de elétrons
Coerência temporal
vh
λc =
∆E
z
Coerência Espacial
α - ângulo de convergência
z
FEG possui grande coerência temporal e
espacial
λ
d c <<
2α
Diâmetro do Feixe
z
O diâmetro final, dt, é resultado do diâmetro
do “crossover” alargado pela aberração
esférica da lente objetiva, ds, e a difração
pela última abertura, dd.
d t = d g2 + d s2 + d d2
2
2⎛ i ⎞ 1
d g = ⎜⎜ ⎟⎟
π ⎝β ⎠ α
d s = 0,5Csα
3
λ
d d = 1,22
α
Referências
z
z
z
z
Williams, D. B. e Carter, C. B.,
“Transmission Electron Microscopy” , Ed.
Plenum, New York, 1996.
Goldstein, J. et all, “Scanning Electron
Microscopy and X–Ray Analysis”, Ed.
Springer, 2003.
Apostila da Jeol – MET
Apresentação da Jeol – Jeol 2100F