Universidade Estadual de Campinas – UNICAMP
Faculdade de Engenharia Elétrica e de Computação – FEEC
Pós-Graduação
Tópicos em Engenharia de Computação I
Métodos de Pesquisa em Engenharia de Computação (IA364-M)
Prof. Dr. Ivan Ricarte
Atividade 3 – Pesquisa Bibliográfica
Aluna: Patrícia Domingues
Campinas, Março de 2014.
Atividade 03 – Pesquisa Bibliográfica
1. Tema
Softwares de Controle para Sistemas de Processamento de Materiais e Dispositivos por
Laser Ultravioleta
2. Definição de conceitos relevantes para esse tema
Para realização do projeto estão sendo utilizados os seguintes equipamentos:
o
Laser Ultravioleta (UV) - “Newport Spectra-Physics Pulseo 355-20 DPSS”:
comprimento de onda: 355 nm e potência 20W; Conjunto de espelhos e lentes
para ajuste focal do feixe e incidência vertical do laser sobre um substrato a
ser manufaturado; recirculador de água e ar para resfriamento do laser.
o
CPU - Controladora de Movimentos com Sistema de Tempo Real VxWorks:
Newport XPS-C8.
o
Três posicionadores de alto desempenho - fabricante Newport: eixos X, Y
(40cm de percuso) e Z (4.8 mm de percurso.)
o
Atuador Linear para movimentação da lente de foco – fabricante Newport (25
mm de percurso).
2.1 Softwares de Controle
Serão implementados softwares via processo de comunicação host-managed para
possibilitar o uso do sistema/equipamentos disponíveis. A aplicação será a fabricação de
dispositivos e o processamento de materiais através da incidência do laser UV.
2.2 Processamento de Materiais e Dispositivos por Laser UV
Através da incidência de um feixe de laser ultravioleta em um substrato, as
seguintes aplicações serão realizadas com o uso dos softares desenvolvidos:
o
Ablação (remoção de materiais): cortes, perfurações e remoção de filmes
depositados via sputtering.
o
Modificação de Superfícies
o
Inchamento de Polímeros
Os materiais utilizados para a fabricação de dispositivos serão: silício (para a
construção de canais de microfluídica); acrílico (para a fabricação de moldes para canais
de microfluídica), alumina (para a fabricação de eletrodos para sensores de gás (remoção
de filme de platina ou ouro), vidro (para máscaras de sombra usadas na deposição de
nanoestruturas localizadas).
3. Para cada conceito, a definição do conjunto de termos utilizados para a
busca (grupo OR)
o
Processamento de Materiais e Dispositivos por Laser UV
o
NdYVO4 laser,
micromachining
o
ceramic substrate, Al2O3 ceramic substrate, alumina substrate
o
silicon, Si, surface texturing on Si, micromachining of silicon, silicon
micromachining by laser UV
o
PMMA, polymer, microfluidic, microfluidic channel, polymer sweeling
o
glass, glass laser ablation
pulsed
laser,
ultraviolet
laser,
laser
ablation,
laser
Outros itens inclusos são: manuais de programação dos equipamentos e livros da
área de programação, algoritmos e engenharia de software.
4. As bases de dados relevantes para a realização da pesquisa bibliográfica.
o
Science Direct (http://www.sciencedirect.com) (BD1)
o
Busca integrada Unicamp (BD2):
(http://www.sbu.unicamp.br/fontes-eletronicas/index.php/busca-integrada)
o
IEEExplore (BD3)
5. Para uma dessas bases de dados (indicar qual), a string completa de busca
(AND de ORs).
Base de Dados (BD1) Science Direct:
o
(laser AND micromachining) AND LIMIT-TO(yearnav, "2014,2013,2012")
o
Ultraviolet laser
1. Restrito aos tópicos:
pulsed laser; laser ablation; laser machining
o
(laser
ablation
AND
alumina)
AND
LIMIT-TO(cids,
"271533,271353,271603,271590,271378","Applied Surface Science,Sensors
and Actuators B: Chemical,Thin Solid Films,Ceramics International,Materials
Science and Engineering: B") AND LIMIT-TO(topics, "thin film,laser
ablation,pulsed laser")
o
(Al2O3 ceramic substrate AND laser ablation) AND LIMIT-TO(cids,
"271533,271603,271590,271353,271551,271356,271387","Applied
Surface
Science,Thin Solid Films,Ceramics International,Sensors and Actuators B:
Chemical,Materials Science and Engineering: R: Reports,Journal of Materials
Processing Technology,Materials Science and Engineering: A") AND LIMITTO(topics, "pulsed laser,laser ablation,laser machining")
1. Restrito aos jornais:
Applied Surface Science; Thin Solid Films; Ceramics International; Sensors and Actuators
B: Chemical; Materials Science and Engineering: R: Reports; Journal of Materials
Processing Technology; Materials Science and Engineering: A.
o
(microfluidic AND polymer swelling AND LASER) AND LIMIT-TO(topics, "polymer
contents,microfluidic device,pmma,smart polymer")
o
(UV laser surface texturing on Si OR Micromachining of silicon by laser
ablation)
o
(NdYVO4 laser)
6. A síntese dos resultados da pesquisa, na forma de um diagrama PRISMA [1]
A Figura 1 mostra o diagrama construído com base nas buscas realizadas.
Figura 1. Diagrama de Prisma
Referências
[1] Moher D, Liberati A, Tetzlaff J, Altman DG, the PRISMA Group. Preferred Reporting
Items for Systematic Reviews and Meta-Analyses: The PRISMA Statement. Ann Intern
Med. 2009; 151:264.-9.