CIRCUITOS RESISTENTES À RADIAÇÃO Imageadores APS para Aplicações Espaciais Pesquisa realizada no Laboratório de Projeto de Circuitos da COPPE – UFRJ Antonio C. de Mesquita São José dos Campos, SP Sumário 1) 2) 3) 4) 5) 6) 7) 10/11/2009 Introdução Efeitos da Radiação – TID Técnicas de Projeto Histórico dos Circuitos Fabricados Caracterização Elétrica Resultados Conclusões 2 Introdução Sensores de Pixel Ativo (APS) “The CMOS active pixel sensor (APS) is a second generation solid state sensor technology, invented and developed at JPL. The goal is the development of a "camera on a chip," which would have a full digital interface. Only digital power signals and power are input to the chip and only digital data is transmitted off chip Miniaturization and simplification of the sensor electronics has high leverage for reducing system mass, volume and power A complete imaging system would only require optics, a power supply, a CMOS APS imaging array with on-chip ADC and a microprocessor to upload the instructions to the imager and download the image data. The performance of this technology is comparable to charge-coupled devices (CCDs)” 10/11/2009 3 Introdução Aplicações dos Dispositivos APS Visão computacional e aplicações automotivas Integração, versatilidade de leitura (Smart Pixels), maior velocidade de processamento da imagem Aplicações científicas e biomédicas Compactação, baixo consumo Câmeras digitais e aplicações móveis Baixo consumo, versatilidade de leitura, possibilidade de funções de compressão de imagem on-chip Monitoramento e segurança Baixo consumo, versatilidade de leitura, possibilidade de integração de funções de tomada de decisão 10/11/2009 4 Introdução Aplicações dos Dispositivos APS Aplicações espaciais Plataforma de atitude de satélites: Sensor de estrelas (Star Tracker) baseado no campo estelar. Tolerância à radiação 10/11/2009 5 Efeitos da Radiação Radiação Ionizante – Dose Ionizante Total (TID) Variação de VTH Corrente de fuga Tecnologia 0,6 µm 10/11/2009 6 Efeitos da Radiação Radiação Ionizante – Dose Ionizante Total (TID) 10/11/2009 Inversão da polaridade do substrato 7 Efeitos da Radiação Outros efeitos Danos por deslocamento Colisões com partículas incidentes deslocam os átomos da malha cristalina para fora da sua posição normal. Degradam o tempo de vida dos portadores minoritários, o ganho e as correntes de fuga nos transistores bipolares. SEU (Single -Event Upset) Produção de impulsos de carga por partículas que atingem o semicondutor. 10/11/2009 Recuperáveis – mudança de um bit em uma porta lógica. Não recuperáveis – Latchup (SEL), falhas de hardware (SHE), ruptura de porta/”queima” (SEGR/SEB) 8 Técnicas de Projeto Três níveis onde é possível melhorar a tolerância à radiação: 1. Processo de fabricação - caro 2. Projeto físico – layout – efetivo para TID 3. Projeto arquitetura – SEU, SEL 10/11/2009 9 Técnicas de Projeto Técnicas de layout sugeridas na literatura P. Gonthier-Martin et al., “Evaluation of Radiation Hardness Design Techniques to Improve Radiation Tolerance for CMOS Image Sensors Dedicated to Space Applications – AMICSA 2006 10/11/2009 10 Exemplos da Literatura N. Scheidegger, H. Shea, E. Charbon e E. Rugi-Grond “Low Cost Earth Sensor based on Oxygen Airglow Final Report”, ESA Contract #20267/06/NL/JA EPFL, Lausanne, Switzerland, June 2008. 10/11/2009 P. Gonthier-Martin et al., “Evaluation of Radiation Hardness Design Techniques to Improve Radiation Tolerance for CMOS Image Sensors Dedicated to Space Applications – AMICSA 2006 11 Técnicas de Projeto Técnicas usadas no LPC Transistor “dogbone” 10/11/2009 12 Técnicas de Projeto ELT vs Dogbone ELT - assimétrico DB – simétrico 10/11/2009 13 Exemplos de Células usando Transistores Dogbone Porta AND3 (NAND+INV) Detalhe de um transistor dogbone usado na extração de parâmetros de modelo de simulação Matriz de transistores para extração de parâmetros do modelo EKV 10/11/2009 14 Técnicas de Projeto Técnicas usadas no LPC Anéis de isolamento Usados para eliminar as correntes de fuga entre transistores produzidas pela inversão do substrato abaixo do óxido de campo. Entre regiões de difusão N+/ P+ 10/11/2009 Espaçador de polisílicio sobre óxido fino. 15 Técnicas de Projeto Técnicas usadas no LPC Anéis de isolamento Usados para eliminar as correntes de fuga entre Poço-N e difusão P+ Porta AND3 Fotodiodo NWD (N-Well Diode) com anel de guarda 10/11/2009 16 Técnicas de Projeto Exemplos de blocos funcionais Rad-Hard Seletor de linha 4bits Buffer duplo Variantes de pixel 1 NWD 10/11/2009 4 NWD Junção rasa ND 17 Histórico dos Circuitos Fabricados APS 1 Tecnologia AMS (AustriaMicrosystems) 0,6 µm Objetivo caracterização eletro-óptica 61 Pads UNIESPAÇO – 2002/04 10/11/2009 18 Histórico dos Circuitos Fabricados APS 2 Tecnologia AMS C35 (0,35 µm) Objetivo caracterização eletro-óptica Toda a eletrônica (analógica e digital) é RH 68 Pads UNIESPAÇO – 2004/06 10/11/2009 19 Histórico dos Circuitos Fabricados APS 3 Tecnologia AMS C35 (0,35 mm) Objetivo: Protótipo operacional Apenas o fotodiodo é RH Estrutura interna 10/11/2009 UNIESPAÇO – 2004/06 20 Histórico dos Circuitos Fabricados APS4 - Digital Tecnologia AMS C35 (0,35 mm) Objetivo: APS Digital Apenas o fotodiodo é RH Estrutura interna 10/11/2009 UNIESPAÇO – 2007/09 21 Histórico dos Circuitos Fabricados APS 4 – Digital Nova arquitetura da eletrônica de leitura com faixa dinâmica estendida Esquema conceitual Implementação prática Faixa dinâmica e limites mínimos e máximos para a leitura da fotocorrente e faixa dinâmica. D. Stoppa, A. Simoni, and A. Baschirotto, “A 120-dB Dynamic Range CMOS Image Sensor with Programmable Power Responsivity,” Solid-State Circuits Conference, 2006. ESSCIRC 2006. Proceedings of the 32nd European, 2006, pp. 420-423. Caracterização Elétrica Extração dos parâmetros do modelo EKV (ENZ-KRUMMENACHER VITTOZ) A extração de parâmetros envolve o projeto e fabricação de estruturas de teste específicas contendo transistores convencionais e resistentes à radiação com dimensões especificadas pelos procedimentos de extração. Matrizes de transistores convencionais e resistentes à radiação utilizadas na extração de parâmetros de simulação Transistores convencionais Transistores RH Esquemático ENZ, C. C., KRUMMENACHER, F., VITTOZ, E. A., 1995, “An Analytical MOS Transistor Model Valid in All Regions of Operation and Dedicated to Low-Voltage and Low-Current Applications”, Analog Integrated Circuits and Signal Processing, n. 8, pp. 83-114, July Caracterização Elétrica Procedimento utilizado na extração de parâmetros 1. Extração de parâmetros do modelo EKV a partir de curvas medidas de transistores convencionais e resistentes à radiação não irradiados e comparação com as curvas medidas. 2. Irradiação dos transistores e extração dos parâmetros EKV em função das doses utilizadas segundo o procedimento mostrado na figura. Caracterização Elétrica Seção transversal e símbolo de um transistor MOS Tensões nos terminais do dispositivo referidas ao substrato Parâmetros de extração do modelo EKV Caracterização Elétrica Resistência à radiação Log ID [A] 25 x 25 µ m 26, 8 x 25 µ m 1,00E-03 1,00E-04 1,00E-05 Log ID [A] 1,00E-06 1,00E-07 1,00E-08 1,00E-09 1,00E-10 Co60 Fonte de do Laboratório de Instrumentação Nuclear - LIM da COPPEUFRJ usada nas caracterizações 1,00E-11 0,00 0,30 0,60 0,90 1,20 1,50 1,80 2,10 2,40 2,70 3,00 3,30 0 Krad 500 Krad Tecnologia 0,35 µm 10/11/2009 26 Caracterização Elétrica Ambiente desenvolvido para a extração de parâmetros Resultados Curvas medidas e simuladas de um transistor convencional “grande” – 16 x 16 µm Efeito da radiação em um transistor convencional “grande” – 25 x 25 µm 10/11/2009 Curvas medidas e simuladas de um transistor RH grande – 26.8 x 25 µm. Efeito da radiação em um transistor RH “grande” – 26.8 x 25 µm 28 Conclusão 1. Quatro circuitos fabricados ao longo de sete anos gerando a produção de seis teses de mestrado e 1 de doutorado. 2. Estabelecimento de alguns procedimentos iniciais de caracterização elétrica e teste de estruturas resistentes à radiação. 3. Estabelecimento de metodologias de projeto físico (layout) de componentes de estruturas resistentes aos efeitos de TID. 4. Proposição de novas arquiteturas inovadoras para sensores com faixa dinâmica estendida. Conclusão Publicações: 1. Leo H. C. Braga, Suzana Domingues, J. A Gomes, A. Mesquita, A Signal to Noise Ratio Comparison of High Dynamic Range CMOS Image Sensors, Proceedings of SPIE Conference Optical Sensors 2009, Vol. 7356-19, 1 -10, Apr. 2009. 2. Estêvão C. Teixeira, Antônio C. Mesquita, Circuito de Leitura para Sensor de Pixel Ativo com Faixa Dinâmica Estendida, Anais do XVII Congresso Brasileiro de Automática, Juiz de Fora, MG, 2008 3. 4. Braga, Leo H. C. ; Domingues, Suzana ; Rocha, Milton F. ; Sá, Leonardo B. ; Campos, Fernando S. ; Santos, Filipe V. ; Mesquita, Antonio C. ; Silva, Mário V. ; Swart, Jacobus W. , Layout Techniques for Radiation Hardening of Standard CMOS Active Pixel Sensors. Analog Integrated Circuits and Signal Processing, Springer Netherlands, ISSN0925-1030 1573-1979, Vol. 57, N. 1-2, Nov. 2008. 5. Braga, Leo H. C. ; Domingues, Suzana ; Rocha, Milton F. ; Sá, Leonardo Bruno de ; Santos, F. V. ; Mesquita, A. ; Silva, Mário V. ; Campos, F. ; Swart, J. V. . Layout Techniques for Radiation Hardening of Standard CMOS Active Pixel Sensors. In: 20th Conference on Integrated Circuits and Systems Design, 2007, Rio de Janeiro. Proceedings of the 20th Annual Conference on Integrated Circuits and Systems Design. New York : The Association for Computing Machinery, 2007. v. 1. p. 257-263. 6. Silva, V. C. ; Dornelles, L. T. ; Canazio, P. P. L. M. ; Santos, F. V. ; Mesquita, Antonio . Radiation-tolerant CMOS APS. In: Simpósio Brasileiro de Microeletrônica-SBMicro, 2004, Porto de Galinhas. Microelectronics Technology and Devices SBMICRO 2004, 2004. v. 1. p. 195-200