ESTUDO DO CRESCIMENTO DE FILMES FINOS DE CARBONO-TIPO DIAMANTE CONTENDO NANOPARTÍCULAS INCORPORADAS EM SUA ESTRUTURA BEATRIZ DE CAMPOS RAMOS, PROF. DRª. FERNANDA ROBERTA MARCIANO O estudo de filmes de carbono-tipo diamante (DLC) é atualmente de grande interesse da comunidade científica e tecnológica devido às suas propriedades, como baixo coeficiente de atrito, elevada dureza, inércia química, alta aderência a superfícies metálicas com diferentes formas e obtenção em grandes escalas. As suas propriedades podem ser significativamente aumentadas pela presença de nanopartículas em sua estrutura, com substanciais mudanças em suas propriedades tribológicas e mecânicas. O foco da investigação deste trabalho está centrado na obtenção de filmes de DLC com cristais de diamante incorporados em sua estrutura, a partir de altas taxas de deposição. As vantagens desse novo filme estão em combinar as propriedades de dureza, baixa rugosidade, coeficiente de atrito e biocompatibilidade, tanto do diamante-CVD cristalino como do DLC, adicionando as possibilidades de obtenção desse novo material híbrido em grandes áreas e altamente aderente aos substratos metálicos. Os filmes foram depositados pela técnica de deposição química da fase vapor assistida por plasma (PECVD), e estão sendo caracterizados utilizando análises morfológicas e estruturais, tais como: microscopia eletrônica de varredura, microscopia de força atômica e espectroscopia de espalhamento Raman. A estabilidade térmica dos filmes também está sendo avaliada de acordo com a granulometria e a concentração das nanopartículas de diamante. Os resultados esperados para esse projeto estão em mostrar a deposição de filmes de DLC contendo nanopartículas de diamante em sua estrutura e a caracterização físico-química e morfológica dos mesmos.