Caracterização de Extensômetros de Resistência Elétrica Fabricados por Serigrafia Valtemar F. Cardoso1, Bruno L. S. Lima2, Ana N. R. Silva1,2, Eliphas W.Simões2, Nilton I. Morimoto2 1. Faculdade de Tecnologia de São Paulo – Fatec – SP 2. Laboratório de Sistemas Integrados Escola Politécnica da USP [email protected], [email protected] Figura 2: ERE serigrafado sobre o substrato de aço inox. Tabela I: Valores obtidos através do ensaio de deformação para as diferentes pastas. Pastas Du Pont Resistividade (Ω/□) Gage Factor ∆R/∆F 1621 98,20 7,40 0,55 1631 1,01 9,22 0,85 1641 10,10 15,60 3,50 QS873 0,930 8,54 0,525 QS874 10,00 15,20 15,00 Na Figura 3 observa-se a linearidade da pasta Du Pont 1641 e a sua melhor relação na variação da resistência em função da força aplicada dentre as pastas testadas. 53200 Resistência elétrica (ohms) 1. Introdução Este trabalho propõe um processo para fabricação de resistores de filme espesso, também chamados de extensômetros de resistência elétrica (ERE), através do processo serigráfico. Este ERE terá aplicação em células de carga e ou em sensores de pressão. O filme espesso é obtido através de processo serigráfico usando pastas com valores de resistência de folha adequados para a fabricação dos ERE’s.[1]. A escolha da pasta serigráfica mais adequada é determinada a partir do cálculo do Gage Factor, parâmetro que determina a sensibilidade do extensômetro. As pastas estudadas foram: Du Pont família 1600 [2] de prata/paládio e Du Pont QS870 [3] de prata/platina. A escolha da pasta para promover a isolação elétrica do substrato depende também seu coeficiente de expansão térmica que deve ser igual ao do aço inox. 2. Procedimento Experimental O material escolhido como substrato foi o aço inox 316L devido a suas boas propriedades mecânicas e por mantê-las constantes mesmo após vários ciclos térmicos. O aparato de testes utilizado para determinação do Gage Factor, consiste de uma barra de aço inox engastada com os ERE impressos, como mostrado na Figura 1. Na extremidade livre da barra foram aplicadas forças variando de 0 a 200 g, com um passo de 10 g. Pasta 1641 Rf=10.1 Kohms/sq. 53000 52800 52600 52400 0 50 100 150 200 Cargas (gramas) Figura 3: Resistência elétrica em função da carga aplicada para pasta Du Pont 1641. Figura 1: aparato de ensaio Na Figura 2 pode ser visto o extensômetro fabricado pelo processo serigráfico com os fios de cobre soldados sobre os contatos para o ensaio de deformação. 3.Resultados Os cálculos para o Gage Factor são feitos através da equação 1, utilizando os dados obtidos na variação da resistência pela força aplicada à barra conforme apresentado na Tabela I. GAGE FACTOR = GF = dR R ε Eq. 1 4. Conclusões O extensômetro com o melhor valor de Gage Factor foi fabricado com a pasta Du Pont 1641 (GF=15,6 e R=39,11 KΩ). Estes resultados são promissores e sugerem um potencial para aplicação destas estruturas em células de carga comerciais. 5. Bibliografia [1] Agnew,J. “Thick Film Technology: Fundaments and Applications in Microelectronics”, Hayden Book Company, 1973. [2] Datasheet Du Pont 1600. [3] Datasheet Du Pont QS870. Agradecimentos Ao CNPq pelo suporte financeiro. À Zaira Mendes da Rocha pelas discussões e preparação dos ERE’s.