SOFTWARES DE CONTROLE PARA SISTEMA
DE PROCESSAMENTO DE MATERIAIS E
DISPOSITIVOS POR LASER ULTRAVIOLETA
Aluna Patrícia Domingues
Orientador Prof. Dr. Jacobus Swart
Coorientador Dr. Ednan Joanni
Simplified drawing of the laser microfabrication system at CTI
Computer control:
• sample movement (X,Y)
• laser power and pulse frequency
• beam focus (Z)
UV Laser
beam
expansion
focusing
mirrors
wafer
collimation
z
x
optical
table
translation
stages
y
Sistema: Componentes e Programação
Controladora
• RTOS VxWorks
• Posicionadores
de alta precisão
Programação
Software –
Imagem ou
L.P. PYTHON
Arq. Trajetória
Trigger de Saída
baseado na Posição
Aplicações do software:
Peças manufaturadas
Trigger In =
Laser ON
Softwares desenvolvidos
Metodologia e Aplicações
Metodologia
• Quantitativa
• Experimental:
• Testes com
diversos tipos de
substratos
• Perfilometria
• Microscopia
Área
Variáveis independentes
• Revistas especializadas
•Ajuste focal das lentes
• Estereolitografia*
•Velocidade dos
posicionadores
• Prototipagem rápida
(3D)
• Fotopolimerização
• Modificação de
superfícies
•Taxa de repetição
•Resfriamento do substrato
Aplicações já realizadas
Variáveis dependentes
•Profundidade de
ablação
•Fenômeno causado
no material
•Características do
substrato