Dispositivos para Sistemas Ópticos Introdução aos Microssistemas Curso CCS-UNICAMP ©R.P.Ribas Micro-Espelhos • fixos e móveis • horizontais e verticais Introdução aos Microssistemas Curso CCS-UNICAMP ©R.P.Ribas Chaveamento Óptico Estrutura mecânica ressonante Introdução aos Microssistemas Curso CCS-UNICAMP ©R.P.Ribas Micro-Estruturas Mecânicas Introdução aos Microssistemas Curso CCS-UNICAMP ©R.P.Ribas Estrutura Comb Drive massa móvel parte fixa y x Introdução aos Microssistemas • acelerômetro • filtro mecânico • atuadores ressonantes Curso CCS-UNICAMP ©R.P.Ribas (Micro-) Motores e Engrenagens Introdução aos Microssistemas Curso CCS-UNICAMP ©R.P.Ribas Micro-Fluídica • Válvula (surface / back-side bulk micromachining) • Bomba de Propulsão (processo híbrido) fluxo fluxo fechada fluxo saída aberta Introdução aos Microssistemas entrada Curso CCS-UNICAMP ©R.P.Ribas Componentes para Circuitos Microondas Introdução aos Microssistemas Curso CCS-UNICAMP ©R.P.Ribas Linha de Transmissão linha metálica plano de massa Introdução aos Microssistemas Curso CCS-UNICAMP ©R.P.Ribas Indutor Espiral Planar FRes 1 2 RS 2 1 LS C S CO LS 2 LS CS Co RS 2 2 Q 1 L C C S S O RS LS Introdução aos Microssistemas Curso CCS-UNICAMP ©R.P.Ribas Indutor Espiral Planar... • Membrana open areas • Linhas Isoladas Introdução aos Microssistemas Curso CCS-UNICAMP ©R.P.Ribas Transformadores Planares • Cp = Cs 40fF 15fF • Cm 200fF 80fF Introdução aos Microssistemas Curso CCS-UNICAMP ©R.P.Ribas Modelagem e CAD Formulação Matemática N G T I GLGS cothl sinhl T B A e 1 B G A GLGS cothl Método de Elementos Finitos Circuito Elétrico Equivalente Introdução aos Microssistemas Curso CCS-UNICAMP ©R.P.Ribas Linguagem de Descrição de Hardware Analógico LIBRARY conserved_systems; USE conserved_systems.nature_pkg.ALL; HDL-A Spectre-HDL VHDL 1076.1 VHDL-AMS Sensor de pressão piezo-resistivo Introdução aos Microssistemas ENTITY piezopress_equ IS GENERIC (h: real := 17e-6; -- plate thickness a: real := 1e-3; -- plate side length r0: real; -- nominal resistance rs: real); -- sensitivity PORT (TERMINAL fp: fluid; -- fluidic pin TERMINAL ep: electrical); -- electrical pin END ENTITY piezopress_equ; ARQUITECTURE equ OF piezopress_que IS CONSTANT e0: real := 146.9e9; -- Si elasticity [N/m**2] CONSTANT v0: real := 0.1846; -- Si Poisson’s ratio CONSTANT df: real := e0*h**3/(12*(1-sqr(v0)); -- rigidity QUANTITY v ACROSS i THROUGH ep TO ground; QUANTITY p ACROSS ft TO fld_gnd; QUANTITY w11: real; -- deflection coefficient BEGIN (w11/h)**3 + 0.2522*w11/h == 0.000133*p*a**4/(df*h); i == v/(r0 + rs*2.5223*1.5895e9*w11); END ARQUITECTURE equ; Curso CCS-UNICAMP ©R.P.Ribas Simuladores de Usinagem Introdução aos Microssistemas Curso CCS-UNICAMP ©R.P.Ribas Conclusão • Área de desenvolvimento promissora • Identificação de aplicações potenciais • Criatividade na criação de dispositivos • Equipes de trabalho multi-disciplinares Introdução aos Microssistemas Curso CCS-UNICAMP ©R.P.Ribas Fotos : • Sandia National Laboratories • MCNC MEMS Technology Applications Center • TIMA Laboratory - INPG • University of Wisconsin - Madison • Journal of Microelectromechanical Systems Introdução aos Microssistemas Curso CCS-UNICAMP ©R.P.Ribas
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