ESTUDO DO CRESCIMENTO DE FILMES FINOS DE CARBONO-TIPO DIAMANTE
CONTENDO NANOPARTÍCULAS INCORPORADAS EM SUA ESTRUTURA
BEATRIZ DE CAMPOS RAMOS, PROF. DRª. FERNANDA ROBERTA MARCIANO
O estudo de filmes de carbono-tipo diamante (DLC) é atualmente de grande interesse da comunidade
científica e tecnológica devido às suas propriedades, como baixo coeficiente de atrito, elevada dureza,
inércia química, alta aderência a superfícies metálicas com diferentes formas e obtenção em grandes
escalas. As suas propriedades podem ser significativamente aumentadas pela presença de nanopartículas
em sua estrutura, com substanciais mudanças em suas propriedades tribológicas e mecânicas. O foco da
investigação deste trabalho está centrado na obtenção de filmes de DLC com cristais de diamante
incorporados em sua estrutura, a partir de altas taxas de deposição. As vantagens desse novo filme estão em
combinar as propriedades de dureza, baixa rugosidade, coeficiente de atrito e biocompatibilidade, tanto do
diamante-CVD cristalino como do DLC, adicionando as possibilidades de obtenção desse novo material
híbrido em grandes áreas e altamente aderente aos substratos metálicos. Os filmes foram depositados pela
técnica de deposição química da fase vapor assistida por plasma (PECVD), e estão sendo caracterizados
utilizando análises morfológicas e estruturais, tais como: microscopia eletrônica de varredura, microscopia
de força atômica e espectroscopia de espalhamento Raman. A estabilidade térmica dos filmes também está
sendo avaliada de acordo com a granulometria e a concentração das nanopartículas de diamante. Os
resultados esperados para esse projeto estão em mostrar a deposição de filmes de DLC contendo
nanopartículas de diamante em sua estrutura e a caracterização físico-química e morfológica dos mesmos.
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estudo do crescimento de filmes finos de carbono