Detectores
André Luiz Pinto, DC
Chefe do Laboratório de
Microscopia Eletrônica do IME
Interação Elétron-Amostra
Backscattered electrons
Auger
electrons
X rays
(EDS)
TEM
specimen
Secondary
electrons
Elastic scattering
(Diffraction)
Inelastic scattering (EELS)
Telas de Fósforo
z
z
Partículas de 10-50 µm de ZnS
produzem luz com comprimento de onda
de 450 ηm. Impurezas (Cu e Ag) são
utilizadas para levara luz para 550 ηm.
É importante minimizar o seu desgaste
z Evitar manter o feixe concentrado
sobre a tela
z Só passar para o modo difração após
ter inserido a abertura SAD
z Usar o “beam stopper”
Emulsão Fotográfica
z
z
z
z
Usualmente, utilizamos filmes rápidos para
minimizar o tempo de exposição para
minimizar os danos e o “drift”.
Filmes rápidos têm grãos de haletos de prata
com tamanho de 5 µm.
Como os elétrons espalham pela emulsão, a
resolução é de 20-50 µm.
Kodachrome (10 x 10) cm – 1,8 x 107 pixels.
Detectores de Elétrons
Secundários
¾ Detetor de Everhart-Thornley
Detectores de Elétrons
Secundários
Williams e Carter
Detectores de Elétrons
Alta Energia
Williams e Carter
Detectores de Elétrons
Alta Energia
Detectores de Elétrons
Alta Energia
Surface
morphology
with
composition
signal
Transmission
Surface
morphology
Z-contrast
Specimen: Catalyst in the carbon nanotube 50 nm
Detectores de Elétrons
Alta Energia
BF-STEM
Diffraction contrast &
phase contrast
ADF
BF or
EELS
ADF
HAADF
HAADF
Strain contrast
sensitive
“Z” contrast
Gatan
Detector de Raios X (EDS)
z
Energy Dispersive Spectroscopy - EDS
Detector de Raios X (EDS)
Cada par elétron-buraco consome 3,8 eV
Detector de Raios X (EDS)
A região de detecção é espessa de modo que o fóton seja
inteiramente absorvido em seu interior
Detector de Raios X (EDS)
Detector de Raios X (EDS)
Pulsos gerados por cada fóton são separados por canais que proporcionam
resolução energética de 128 eV
Catodoluminescência
z
z
Emissão de luz devido à
formação e recombinação
de pares elétron-buraco
formados pela interação
entre o feixe de elétrons e
materiais isolantes e
semicondutores.
Permite a identificação de
compostos e a presença de
átomos de impureza.
Catodoluminescência
Faraday Cup
z
z
Em geral, colocado na
ponta do portaamostras.
Avalia com precisão a
corrente do feixe,
informação essencial
para análises
quantitativas
comparativas de EDS e
EELS.
Câmeras CCD
Couple-Charge Device
Resolução das câmeras de alta resolução- 16 MPixels
Câmeras CCD
Necessidade de resfriamento para diminuir o ruído
Referências
z
z
z
z
z
z
z
Williams, D. B. e Carter, C. B., “Transmission
Electron Microscopy” , Ed. Plenum, New York,
1996.
Clarke, A. R. e Eberhardt, C. N., “Microscopy
Techniques for Materials Science”, Ed.CRC, 2002.
Apostila da Jeol – MET
Apresentação Jeol EM 2100F
Apresentação Gatan
Site EDAX (www.edax.com)
Site www.x-raymicroanalysis.com